Tel: (+49) 06346-6576    

Fax: (+49) 06346-989409                          

mob: (+49) 015201921148                   

mail:  info@georg-albert-pvd.de                                        

AFM Aufnahmen von 200nm dicken polykristallinen Goldfilmen, die ohne Haftvermittlung zum Zweck des Abstrippens*  hergestellt wurden.

Stripping Methode : mit Aufkleben eines weiteren Trägers (Silizium, Glas etc.) auf die Oberseite des goldbeschichteten Siliziumwafers und anschließendem mechanischen Abtrennen des Basissubstrates.

Oberseite, Scanbereich ca. 1 x 0,8µm2

Die Oberseite zeigt eine ähnliche Struktur wie gleichdicke  Goldfilme mit Haftvermittler. 

Unterseite, Scanbereich ca. 1 x 0,8 µm2

Die untere, gestrippte Seite zeigt eine stark veränderte  Morphologie zur Oberseite. Die Ursache ist noch ungeklärt.

Unterseite, Scanbereich ca. 1 x 0,8µm2

Eine andere Stelle der Unterseite.

Die Unterseite zeigt insgesamt eine geringere Rauhigkeit als die Oberseite (RMS ca. 0,8nm ). Das entspricht etwa 30% gegenüber der Oberseite.

Unterseite, Scanbereich ca. 5x5µm2

in dem größerenScanbereich oben erkennt man schon die Ausbildung von Korngrenzen, wobei sich die Körner in einem noch frühen Rekristallisationstadium befinden. Sie setzen sich aus noch kleineren Körnern zusammen.

 


 

Logo

© Urheberrecht. Alle Rechte vorbehalten.